液相电沉积金刚石薄膜的研究进展

• 作者: 万军 马志斌
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 液相沉积 金刚石 碳膜 脉冲电弧放电
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 23-25
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 字数: 4213字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2004.02.007

摘要

评述了液相沉积(类)金刚石薄膜的研究现状,介绍了液相合成(类)金刚石薄膜的装置、液态源及薄膜的性能,分析了如何更好地提高(类)金刚石薄膜质量,并在此基础上提出了一种可能制备出高质量金刚石薄膜的脉冲电弧放电沉积装置.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万军	武汉化工学院材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	5	27	3.0	5.0
2	马志斌	武汉化工学院材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	24	335	9.0	17.0