溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究

• 作者: 姜永睿 杨沁清 杨澜 王红杰 胡雄伟 谢二庆 郑金红
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光敏性溶胶-凝胶 SiO2薄膜 折射率 红外光谱 波导
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 1140-1143
• 页数: 4页
• 分类号: TN252
• 字数: 3167字
• 语种: 中文

摘要

采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶-凝胶,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料;用该凝胶在硅片上提拉成膜.为了增加薄膜与硅片的粘附性,成膜前先用干氧热氧化法在硅片上生长了一层厚度约为1500的二氧化硅;样品的原子力相片表明薄膜的表面非常平整,在5×5 μm2的范围内最大表面起伏只有0.657 nm.利用波导阵列掩膜版, 对制备的薄膜在紫外光波段下曝光,得到了表面平坦、侧墙光滑、陡直的沟道波导阵列.研究发现:紫外曝光时间和坚膜时的后烘温度都会使薄膜的折射率增大.通过对样品红外吸收谱的分析,从微观机理上解释了折射率随工艺条件变化的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢二庆	兰州大学物理科学与技术学院	84	371	11.0	14.0
2	郑金红		5	147	5.0	5.0
3	杨澜		3	28	3.0	3.0
4	姜永睿	中科院半导体研究所光电子研究发展中心	1	12	1.0	1.0
5	胡雄伟	中科院半导体研究所光电子研究发展中心	1	12	1.0	1.0
6	杨沁清	中科院半导体研究所光电子研究发展中心	1	12	1.0	1.0
7	王红杰	中科院半导体研究所光电子研究发展中心	1	12	1.0	1.0