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摘要:
利用透射电镜研究了热氧化过程中含氮(NCZ)和不含氮(CZ)直拉硅单晶的氧化诱生缺陷.研究表明,NCZ中的氧化诱生层错的尺寸随着湿氧氧化时间的延长而减小,并有冲出型位错产生.而在CZ中,生成了大量的多面体氧沉淀,并且随着热氧化时间的延长,层错的尺寸逐渐增大.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 微氮直拉硅单晶中氧化诱生层错透射电镜研究
来源期刊 物理学报 学科 物理学
关键词 直拉硅 透射电镜 氧化诱生层错
年,卷(期) 2004,(2) 所属期刊栏目 凝聚物质:结构、热学和力学性质
研究方向 页码范围 550-554
页数 5页 分类号 O4
字数 2113字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.02.041
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 杨德仁 浙江大学硅材料国家重点实验室 180 1513 20.0 31.0
2 马向阳 浙江大学硅材料国家重点实验室 60 404 10.0 17.0
3 阙端麟 浙江大学硅材料国家重点实验室 72 612 13.0 20.0
4 徐进 浙江大学硅材料国家重点实验室 43 501 10.0 21.0
5 储佳 浙江大学硅材料国家重点实验室 5 66 3.0 5.0
传播情况
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2004(1)
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2004(1)
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2009(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
直拉硅
透射电镜
氧化诱生层错
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
半月刊
1000-3290
11-1958/O4
大16开
北京603信箱
2-425
1933
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:http://www.863.org.cn
项目类型:重点项目
学科类型:信息技术
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