基于空间光调制器的灰度掩模制作系统

• 作者: 吕海宝 戴一帆 李圣怡 颜树华
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光电子学 灰度掩模 空间光调制器 二元光学
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2552字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.01.013

摘要

提出了基于空间光调制器的灰度掩模制作新方法.分析了该方法的基本原理,构造了相应的实验系统.同时制作了闪耀光栅、菲涅耳透镜以及Dammann光栅等二元光学器件的灰度掩模.该方法采用逐个图形曝光的方式使其具有内在的并行特性,可大大提高灰度掩模的制作速度和精度,并降低生产成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴一帆	国防科技大学机电工程与自动化学院	109	1657	23.0	33.0
2	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
3	颜树华	国防科技大学机电工程与自动化学院	42	582	14.0	22.0
4	吕海宝	国防科技大学机电工程与自动化学院	69	1137	21.0	29.0