ECR离子源高真空微调针阀控制系统

• 作者: 宋沛
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: ECR(电子回旋共振)离子源 针阀 光路
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 137-139
• 页数: 3页
• 分类号: TH138.52+1
• 字数: 2755字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2004.07.059

摘要

本论文介绍所研制的适用于30kV高压端的ECR离子源高真空微调针阀控制系统.系统中被控对象是位于ECR源上的高真空微调针阀,它与地面之间有30kV的电位差.系统的特点是使用光路实现高压绝缘和信息传输.这为解决位于ECR离子源高压端器件的控制问题提出新思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋沛	广州大学理学院物理系	6	27	2.0	5.0