改进sol-gel技术BST薄膜的制备及性能研究

• 作者: 刘少波 刘梅冬 姜胜林 曾亦可
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 改进sol-gel方法 BST薄膜 电性能
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 365-367
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 2117字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.03.036

摘要

为了制备高性能BST薄膜,采用改进的溶胶-凝胶(solge1)方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了不同结构、不同组成的BST薄膜;研究了BST薄膜的微观结构及其介电、铁电性能.XRD分析表明,当热处理温度为750℃时,得到完整钙钛矿结构的薄膜材料.SEM电镜显示,含种子层的Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ3种不同类型的BST薄膜的结晶状况有很大改善.得到的BST20薄膜的介电峰温区覆盖常温段,介电常数为405,介电损耗为0.011,剩余极化强度为Pr=2.3μC·cm-2,矫顽场为Ec=45kV/cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾亦可	华中科技大学电子科学与技术系	65	723	15.0	25.0
2	刘梅冬	华中科技大学电子科学与技术系	41	707	16.0	25.0
3	姜胜林	华中科技大学电子科学与技术系	101	727	15.0	21.0
4	刘少波	中国科学院电工研究所	11	68	5.0	7.0