硅谐振梁式微传感器同频干扰的研究

• 作者: 周浩敏 李雪莹
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 同频干扰 二阶振动模态
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 17-18
• 页数: 2页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2004.02.007

摘要

主要研究了静电激励/电容拾振的谐振梁式微传感器的同频干扰问题及解决的方法,提出了采用梁的二阶振动模态解决同频干扰的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周浩敏	北京航空航天大学自动化学院	28	97	5.0	8.0
2	李雪莹	北京航空航天大学自动化学院	2	19	2.0	2.0