掺杂对类金刚石薄膜性能的影响

• 作者: 刘贵昌 王立达 邓新绿
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石(DLC) 掺杂 改性 性能
• 年，卷（期）: 2004,（z2）
• 所属期刊栏目: 电、磁功能材料
• 页码范围: 310-312,316
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 5352字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2004.z2.094

摘要

类金刚石膜具有良好的机械性能、电学性能、光学性能、摩擦学性能、热学和化学性能以及生物相容性.为了进一步挖掘并改善类金刚石膜潜在性能,人们在类金刚石膜中掺入不同元素并研究了膜性能变化.总结了掺杂对类金刚石膜性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓新绿	大连理工大学三束改性国家重点实验室	28	356	9.0	17.0
2	刘贵昌	大连理工大学化工学院	81	713	15.0	23.0
3	王立达	大连理工大学化工学院	29	95	6.0	9.0