基于小波变换Cu-W薄膜表面形貌表征与硬度值分散性评价

• 作者: 徐可为 汪渊 白宣羽
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Cu-W薄膜 表面形貌 小波变换 纳米压入
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 2281-2286
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 2646字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.07.049

摘要

提出了一种基于小波变换描述薄膜表面形貌的方法.运用离散小波变换法研究磁控溅射Cu-W薄膜表面特征随溅射时间的演变.结果表明,Cu-W薄膜在溅射时间超过600s时才达到稳定.不同薄膜表面形貌的变化主要是由高频部分引起.薄膜的粗糙表面会引起纳米压入硬度值的分散,这种分散性可用基于小波变换的薄膜表面形貌多尺度分解评价.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪渊	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	5	38	4.0	5.0
5	白宣羽	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	2	10	2.0	2.0
6	徐可为	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	238	3333	30.0	44.0