高性能聚焦离子束(FIB)系统及其在材料科学领域的应用

• 作者: 吴国英 周伟敏
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 工学
• 关键词: 聚焦离子束显微镜(FIB) 透射电子显微分析(TEM) 材料科学
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 19-20,52
• 页数: 3页
• 分类号: TH89
• 字数: 1745字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7167.2004.09.006

摘要

采用液态镓作为离子源的FIB系统在材料科学研究领域可以起非常重要的作用.离子束聚焦于样品表面,在不同大小、束流及通入不同辅助气体的情况下,可分别实现图形刻蚀、绝缘和金属膜的沉淀,扫描离子成像等功能.该系统有三大用途:形貌观察,分辨率高达5nm;微刻蚀以及微沉淀.本文介绍了FIB技术的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周伟敏	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	15	81	6.0	8.0
2	吴国英	上海交通大学国家教育部高温材料及高温测试重点实验室	1	8	1.0	1.0