集成化N沟MOS核心参数的Taurus Workbench优化

• 作者: 侯国宪 李惠军 赵国庆
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: 超大规模集成电路 超深亚微米 阈值电压 仿真 优化
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 页码范围: 206-208
• 页数: 3页
• 分类号: TP339
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7180.2004.06.055

摘要

首先介绍了集成电路TCAD虚拟工厂系统Tauru Worbench,基于CMOS工艺的特点,在Taurus Workbench环境下进行了深亚微米级N沟器件的核心参数优化,优化结果印证了新的工艺条件对器件特性的改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李惠军	山东大学信息科学与工程学院	51	103	5.0	7.0
2	侯国宪		6	14	3.0	3.0
3	赵国庆		3	0	0.0	0.0