流体二维超光滑精密抛光加工装备研制探讨

• 作者: 于兆勤 何冰强 郭钟宁
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 流体 抛光 装备 探讨
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 50-51
• 页数: 2页
• 分类号: TG669
• 字数: 1800字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2004.12.020

摘要

本文介绍了当前超光滑表面的加工工艺,结合"流体二维振动的物理-化学复合原子级表面加工"理论,研发了一种流体二维超光滑精密抛光加工装备.试验表明该装备是切实可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于兆勤		86	785	14.0	25.0
2	郭钟宁		197	1090	16.0	23.0
3	何冰强		6	22	3.0	4.0