GaN薄膜的研究进展

• 作者: 刘建强 刘晓梅 杨莺歌 马洪磊 马瑾
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: GaN薄膜 研究进展 发光机制
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 537-540,544
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 4789字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.05.001

摘要

由于GaN薄膜有希望应用在紫外或蓝光发光器件、探测器以及高速场效应晶体管、高温电子器件,GaN材料是当前研究的一个焦点.本文简要介绍了GaN薄膜的制备、衬底选择、掺杂、缓冲层、发光机制和表征等方面的最新进展,指出GaN材料进一步发展需要解决的关键技术问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学物理与微电子学院	44	495	13.0	20.0
2	马洪磊	山东大学物理与微电子学院	58	681	15.0	23.0
3	刘建强	山东大学物理与微电子学院	47	225	8.0	12.0
4	刘晓梅	山东大学计算机科学与技术学院	9	128	5.0	9.0
5	杨莺歌	山东大学物理与微电子学院	8	124	5.0	8.0