离子束溅射BST薄膜的制备及结构分析

• 作者: 张曙 杨宇 邓书康 阚家德 陈亮 陈刚 高立刚
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸锶钡 薄膜 离子束溅射 晶体结构
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 电功能材料及其应用
• 页码范围: 1379-1382
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2204字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.z1.387

摘要

本文采用离子束溅射的方法制备了不同衬底温度下的BST薄膜,用X射线、Raman、SPM等技术对晶体结构及微观形貌进行表征,研究了离子束溅射制备BST的工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨宇	云南大学材料科学与工程系	101	377	9.0	12.0
2	阚家德	云南大学材料科学与工程系	21	92	6.0	8.0
3	陈亮	云南大学材料科学与工程系	10	84	4.0	9.0
4	张曙	云南大学材料科学与工程系	10	30	3.0	5.0
5	邓书康	云南大学材料科学与工程系	4	22	2.0	4.0
6	陈刚	云南大学材料科学与工程系	16	68	5.0	7.0
7	高立刚	云南大学材料科学与工程系	5	26	3.0	5.0