TiN和Ti1-xSixNy薄膜的微观结构分析

• 作者: 张晨辉 李文治 陈大融 雒建斌
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米复合薄膜 自由能 表面粗糙度 TiN Ti1-xSixNy
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：结构、热学和力学性质
• 页码范围: 182-188
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 7531字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.01.034

摘要

使用x射线衍射(XRD)、x射线光电子谱(XPS)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和原子力显微镜(AFM)多种观测手段分析了TiN薄膜和Ti1-xSixNy纳米复合薄膜的微观结构.实验分析证明Ti1-xSixNy薄膜是由直径为3-5nm的纳米晶TiN和非晶Si3N4相构成,并且Ti1-xSixNy薄膜的表面粗糙度小于相同条件下制备的TiN薄膜,在Ti1-xSixNy薄膜体系的自由能中引入界面能的概念,在此基础上分析了体系中TiN晶粒的取向问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈大融	清华大学摩擦学国家重点实验室	123	1688	22.0	34.0
2	张晨辉	清华大学摩擦学国家重点实验室	13	168	5.0	12.0
3	雒建斌	清华大学摩擦学国家重点实验室	96	1802	22.0	37.0
4	李文治	清华大学摩擦学国家重点实验室	9	150	6.0	9.0