氧分压对ZnO薄膜温差电动势的影响

• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 温差电动势 磁温差电动势 PVD 温差电动势率
• 年，卷（期）: 2004,（z3）
• 所属期刊栏目: 纳米技术及新型材料
• 页码范围: 93-95
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 字数: 1464字
• 语种: 中文

摘要

研究了氧分压对ZnO薄膜温差电动势的影响.用直流反应磁控溅射方法成功地制备了C轴取向性能良好的ZnO薄膜.实验研究发现,温差电动势和磁温差电动势随温度的变化呈线形关系.氧分压越大,温差电动势率越小.研究结果还表明,磁温差电动势比温差电动势小.