6H-SiC pn结紫外光探测器的模拟与分析

• 作者: 周拥华 孟祥志 张义门 张玉明
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 6H-SiC 紫外光探测 吸收系数 光响应灵敏度
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 3710-3715
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 3868字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.11.017

摘要

运用器件模拟软件模拟了pn结6H-SiC紫外光探测器的光响应灵敏度特性.讨论了不同掺杂浓度、不同器件结深对响应灵敏度的影响.对于p+n结器件,当受光面为p+层,且厚度约为0.2pm、浓度约为9×1018cm-3、n层浓度约为1×1016 cm-3时,器件有较大的响应灵敏度,R=167.2mA/W;当受光面为n+层,且厚度约为0.2μm、浓度约为9×1018cm-3、p层浓度约为1×1016cm-3时,器件有较大的响应灵敏度,R=183.5mA/W.通过比较可知,模型能较好地反应实际情况,与实验数据符合较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张义门	西安电子科技大学微电子研究所	129	835	15.0	21.0
2	张玉明	西安电子科技大学微电子研究所	126	777	15.0	20.0
3	周拥华	西安电子科技大学微电子研究所	3	24	2.0	3.0
4	孟祥志	西安电子科技大学微电子研究所	1	10	1.0	1.0