超硬超厚类金刚石薄膜合成研究

• 作者: 冷永祥 孙鸿 张文英 杨文茂 陈俊英 黄楠
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: DLC 类金刚石薄膜 FCVA 超硬超厚
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 力和声功能材料及其应用
• 页码范围: 2178-2179,2182
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.18
• 字数: 1171字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.z1.602

摘要

采用过滤真空阴极直流弧源(FilteredCathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(＞6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.