超净高纯乙腈的研制

• 作者: 王长明 邱晓生 郑学根 阳晓辉
• 来源期刊: 石油化工
• 学科: 工学
• 关键词: 高纯 乙腈 酸碱清洗液 半导体
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 精细化工
• 页码范围: 964-967
• 页数: 4页
• 分类号: TQ226.61
• 字数: 3145字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-8144.2004.10.013

摘要

以工业乙腈为原料,采用干燥脱水-亚沸蒸馏-膜过滤组合工艺,制备出超净高纯乙腈,讨论了实验室洁净度、实验设备和器皿的材质、亚沸蒸馏次数、膜种类、膜孔径等因素对产品质量的影响.平行实验结果表明,在优化条件下,能够制备质量稳定的超净高纯乙腈产品,应用评价结果显示其清洗效果总体优于常规补充金属氧化物半导体级酸碱清洗液,可应用在半导体器件相应的清洗工艺中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑学根		1	14	1.0	1.0
2	邱晓生		1	14	1.0	1.0
3	王长明		1	14	1.0	1.0
4	阳晓辉		1	14	1.0	1.0