用光谱法测试相位光栅层的厚度

• 作者: 曹向群 李何立 连华
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 相位光栅 测试 衍射谱
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 光束传输与控制,材料、薄膜及元器件
• 页码范围: 495-498
• 页数: 4页
• 分类号: O438.2
• 字数: 1873字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.z1.165

摘要

按傅里叶光学,当平面波通过光栅时,不同级次的衍射角和强度由光栅而定,根据光栅的衍射频谱可以反推出光栅本身的多种信息.一个新的方法就是选用不同级次的功率谱来测量相位光栅的深度.对3块光栅进行了测试,并给出计算的光栅深度.同时给出6块光栅的测试结果--多级衍射强度,结果表明误差值不大于5%.