双频激光干涉仪测试直线电机进给定位精度的研究

• 作者: 傅建中 徐月同 贾激雷
• 来源期刊: 机械工程师
• 学科: 工学
• 关键词: 直线电机 激光干涉仪 定位精度 误差补偿
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 专题论坛
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TH74
• 字数: 2320字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2333.2004.08.006

摘要

应用双频激光干涉仪对直线电机进给的定位精度进行了测试.在介绍双频激光干涉仪测量原理的基础上,对直线电机进给定位精度测试方法作了详细的描述.测试结果发现,直线电机进给的速度、加速度的变化对定位精度的影响不是很大.利用最小二乘法对各点定位精度平均值进行分段线性拟合,并对直线电机进给的定位精度进行补偿,可以较大地提高直线电机进给的定位精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅建中	浙江大学机械工程学系	150	2422	26.0	43.0
2	徐月同	浙江大学机械工程学系	27	493	12.0	22.0
3	贾激雷		5	32	3.0	5.0