基于工业控制计算机的MOCVD控制系统设计

• 作者: 刘昌军 过润秋
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: MOCVD 计算机控制系统 C++ GaN
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 计算机应用
• 页码范围: 101-102,105
• 页数: 3页
• 分类号: TP368.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2004.10.040

摘要

金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术是当前研制和生产先进化合物半导体材料的最主要技术.本文结合GaN 材料生长的MOCVD系统研制,给出了MOCVD计算机控制系统,该系统采用工业控制计算机实现了整个系统的控制和管理,取得了满意的研究结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	过润秋		31	374	11.0	18.0
2	刘昌军		1	8	1.0	1.0