纳米磁性多层膜的微波电磁特性研究

• 作者: 何华辉 冯则坤 邓联文
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米磁性薄膜 多层膜结构 微波磁导率
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 86-88
• 页数: 3页
• 分类号: TM277
• 字数: 2924字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.01.029

摘要

采用射频磁控溅射法制备了FeCoB/SiO2纳米磁性多层膜,并对其微波特性进行研究.用微波谐振腔法测量了该薄膜的复磁导率,2GHz频率处复磁导率实部及虚部分别可达251和22.7.重点研究了多层膜结构中介质层厚度及薄膜总厚度对磁导率的影响,同时结合直流电阻率ρ、静态磁参数Bs、Hc的测量结果分析,探讨了纳米磁性多层膜的微波高磁导率机理,并提出了微波频率下获得高磁导率及低磁损耗的途径.实验结果也表明这种纳米磁性多层膜材料有望在高频平面变压器、平面电感器、薄膜电磁干扰抑制器等领域获得应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓联文	华中科技大学电子科学与技术系	31	401	13.0	19.0
2	何华辉	华中科技大学电子科学与技术系	110	1350	20.0	29.0
3	冯则坤	华中科技大学电子科学与技术系	109	961	18.0	25.0