大功率激光窗口ZnSe的制备原理及方法

• 作者: 余怀之 汪飞琴 石红春 霍承松 鲁泥藕
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 窗口材料 透过率 ZnSe 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 光功能材料及其应用
• 页码范围: 246-248
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.2+5|Q484.1
• 字数: 2186字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.z1.054

摘要

比较了四种适用于作CO2激光器窗口的材料,Ge、KCl、GaAs和ZnSe,指出ZnSe是大功率激光器最理想的窗口材料,并列举了3种ZnSe的制备原理及方法,阐述了CVD方法制备多晶ZnSe的过程.