GaAs二维光子晶体的制作及其研究进展

• 作者: 森下羲隆 阿不都热苏力
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光子晶体 光子禁带 电子束微影 干蚀刻法
• 年，卷（期）: 2004,（z3）
• 所属期刊栏目: 信息材料与器件
• 页码范围: 260-262
• 页数: 3页
• 分类号: O7
• 字数: 2048字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0609.2004.z3.060

摘要

阐述了采用扫描式电子束显微镜、干蚀刻法、微影技术等现代微加工技术制作有序结构二维光子晶体的方法及其研究进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	阿不都热苏力	新疆大学物理系	63	137	6.0	9.0