微条气体室(MSGC)基板材料的研究

• 作者: 夏义本 张明龙 杨莹 汪琳 王林军 苏青峰
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 微条气体室(MSGC) 探测器 基板 金刚石膜/硅复合材料
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 360-362
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.18
• 字数: 2331字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.03.034

摘要

根据微条气体室(MSGC)探测器的工作原理,分析了MSGC基板的选择依据,同时首次提出采用金刚石膜/硅复合材料作为MSGC基板的可行性.采用热丝辅助化学气相沉积(HFCVD)技术和相关退火工艺获得了金刚石膜/硅复合材料,并采用SEM、Raman光谱仪、微电流仪对复合材料的表面状况、结构、I-V和C-F特性进行了表征.结果表明,该复合材料经抛光后表面平整,退火后电阻率达约2.9×1010Ω·cm,电容值小且随频率变化稳定,均满足MSGC对基板材料的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张明龙	上海大学材料科学与工程学院	24	165	8.0	11.0
2	夏义本	上海大学材料科学与工程学院	111	725	13.0	19.0
3	王林军	上海大学材料科学与工程学院	109	441	11.0	14.0
4	苏青峰	上海大学材料科学与工程学院	22	99	5.0	8.0
5	汪琳	上海大学材料科学与工程学院	11	46	5.0	6.0
6	杨莹	上海大学材料科学与工程学院	12	58	5.0	7.0