塑料基体低温沉积ITO薄膜的研究

• 作者: 乔学亮 李世涛 陈建国
• 来源期刊: 材料导报
• 关键词: ITO薄膜 塑料基体 低温
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 3-5
• 页数: 3页
• 字数: 2593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2004.11.002

摘要

综述了塑料基体低温沉积ITO薄膜国内外的最新研究现状,并指出了现在存在的问题,认为实现低温沉积、保证薄膜的光电性能和改善薄膜表面质量是3个关键技术.同时结合自己的研究工作,提出了相应的解决方法和建议.