使用化學汽相沉積系統合成氧化矽奈米綫的固-液-固機制討論

• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化矽奈米綫 固-液-固成長機制 白金觸媒
• 年，卷（期）: 2004,（z3）
• 所属期刊栏目: 纳米技术及新型材料
• 页码范围: 35-37
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 字数: 2369字
• 语种: 中文

摘要

藉由分析觸媒及奈米綫之結構與組成,詳細探討合成氧化矽奈米綫的固-液-固成長機制.與一般化學汽相沉積法不同的是,矽的來源直接由矽基板提供固態矽源.首先在矽基板上濺鍍上一層很薄(～5nm)的白金觸媒層.在升温過程中,白金薄膜會分裂形成直徑爲數百奈米大小的觸媒球.掃描式電子顯微鏡及穿透式電子顯微鏡的分析結果顯示,這些觸媒球的組成爲Pt3Si,并可作爲奈米綫成長的孕核點.在高達1100℃C的制程温度及5h的持温之下,矽基板氧化成爲氧化矽并藉由擴散溶解到觸媒球中,直到館和點而后析出成爲氧化矽的奈米綫.這些奈米綫爲非晶結構,直徑爲40～60nm,長度爲數百微米.