电化学沉积CNx薄膜的摩擦性能研究

• 作者: 刘惠文 徐洮 阎兴斌 陈刚
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: CNx薄膜 电化学沉积 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 电功能材料及其应用
• 页码范围: 1121-1125
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 2829字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.z1.313

摘要

以单晶硅片(100)为衬底,尿素-甲醇有机溶液为沉积液,用电化学沉积的方法在阴极制备出CNx薄膜.通过AFM、XPS、Raman光谱和FTIR光谱对得到的CNx薄膜的表面形貌和微观结构进行了表征,并在球-盘摩擦试验机上考察了薄膜的干摩擦性能,用SEM和EDS对摩擦表面进行了分析,研究了摩擦机理.结果表明:薄膜表面致密,但粗糙度较大;Raman光谱中出现明显的D峰和G峰,说明薄膜具有无定形的结构特征;薄膜的化学元素组成主要为C,还有少量的N,C、N原子之间主要以共价单键和双键形式结合.CNx薄膜与红宝石球对摩时,摩擦系数随频率的增大而升高,但几乎不随载荷而变化;CNx薄膜在形成转移膜的过程中不仅失去了N,而且发生了石墨化,这与DLC膜的摩擦过程非常相似.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈刚	中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	2	10	2.0	2.0
2	阎兴斌	中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	2	10	2.0	2.0
3	刘惠文	中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	2	10	2.0	2.0
4	徐洮	中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	2	10	2.0	2.0