利用无机盐制备γ-Al2O3粉体与薄膜的工艺技术研究

• 作者: 余萍 杨志华 王欢 肖定全
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 无机盐先驱物 溶胶-凝胶法 陶瓷粉体 γ-Al2O3薄膜
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 474-476
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3727字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.04.025

摘要

发明了γ-A12O3基陶瓷气敏传感器材料体系,并正研究其薄膜型传感器件.本文以廉价的无机盐Al(NO3)3·9H2O为原料,通过溶胶-凝胶法制备了勃姆石(γ-A1OOH)溶胶,然后经干燥、煅烧制备了γ-Al2O3的粉体,并通过旋转涂覆工艺制备了γ-A12O3的薄膜,应用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)等现代分析技术对粉体的物相和薄膜的组分及表面形貌进行了表征,对γ-A1OOH溶胶制备过程中的一些影响因素进行了探讨,得出了比较好的制备γ-Al2O3基陶瓷粉体和薄膜型气敏传感器的工艺技术条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖定全	四川大学材料科学与工程学院	178	2267	24.0	42.0
2	杨志华	四川大学材料科学与工程学院	14	139	6.0	11.0
3	余萍	四川大学材料科学与工程学院	82	1291	16.0	34.0
4	王欢	四川大学材料科学与工程学院	44	238	9.0	15.0