等离子体化学气相沉积参量对Ar等离子体电子特性的影响

• 作者: 余云鹏 余楚迎 林揆训 林璇英 池凌飞 王照奎 赵韦人 魏俊红 黄锐
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 调谐单探针 等离子体化学气相沉积 Ar等离子体
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 755-757
• 页数: 3页
• 分类号: O53|O46
• 字数: 2822字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.06.032

摘要

采用加热的调谐单探针技术,研究了射频辉光放电Ar等离子体空间电子能量分布函数,电子平均能量和电子密度,并系统分析了等离子体增强化学气相沉积工艺参量对等离子体空间电子特性的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余云鹏	汕头大学物理系	27	230	8.0	14.0
2	林璇英	汕头大学物理系	40	400	10.0	18.0
3	黄锐	汕头大学物理系	9	73	5.0	8.0
4	林揆训	汕头大学物理系	29	339	9.0	18.0
5	余楚迎	汕头大学物理系	27	321	9.0	17.0
6	赵韦人	汕头大学物理系	13	79	5.0	8.0
7	池凌飞	汕头大学物理系	14	153	6.0	12.0
8	王照奎	汕头大学物理系	7	40	4.0	6.0
9	魏俊红	汕头大学物理系	5	42	4.0	5.0