氢敏元件的种类及半导体薄膜材料在其中的应用

• 作者: 李龙土 郝俊杰
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 氢敏元件 薄膜 氧化镓
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TM283|TQ174.75|TB383
• 字数: 3409字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.01.003

摘要

随着氢燃料电池技术在汽车应用中的日益完善,对高性能氢敏元件的需求也更加迫切.本文介绍了采用不同工作原理制备的氢敏元件的种类,着重描述了半导体薄膜材料的工作原理和改性途径,并针对我国目前研究较少的Ga2O3新型薄膜材料进行了较为详细的综合论述.