非制冷红外探测器用BST薄膜的制备与性能研究

• 作者: 刘兴钊 吴传贵 张万里 李言荣
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: BST薄膜 射频溅射 低温沉积 红外探测器
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 电功能材料及其应用
• 页码范围: 1344-1348
• 页数: 5页
• 分类号: TN384
• 字数: 2539字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.z1.377

摘要

利用传统陶瓷工艺制备出BST(65/35)倒筒靶,采用射频溅射法沉积薄膜.开展了对Pt/Ti/SiO2/Si基底热处理工艺与BST同质缓冲层研究,总结出了可以确保基底界面性能良好、BST薄膜结构致密的工艺方法.介电性能测试表明:BST薄膜的介电常数约为60～70,介电损耗为1.5%～2.5%,居里温度为284K,介电温度系数(TCD)为0.5%.漏电流测试表明:在1MV/cm电场下,漏电流密度为1.9×10-6A/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李言荣	电子科技大学微固学院	115	824	15.0	21.0
2	张万里	电子科技大学微固学院	142	705	13.0	17.0
3	刘兴钊	电子科技大学微固学院	56	310	9.0	14.0
4	吴传贵	电子科技大学微固学院	27	96	5.0	8.0