蓝宝石衬底上增透膜的设计与制备

• 作者: 冯丽萍 刘正堂 李阳平 陈继权
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石 SiO2薄膜 膜系设计 射频磁控反应溅射
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 498-500
• 页数: 3页
• 分类号: TN213
• 字数: 3213字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.04.034

摘要

用抛光铝合金作衬底在平行孪生靶的磁控溅射设备中制备出二氧化钛薄膜,薄膜厚度为500nm,XRD测量表明二氧化钛薄膜为锐钛矿型(anatase).该薄膜在紫外光源照射下,对甲苯、苯、二氧化硫及香烟气体有良好的降解作用;对大肠杆 菌、金黄色葡萄糖菌有良好的去除作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李阳平	西北工业大学材料科学与工程学院	25	201	8.0	13.0
2	刘正堂	西北工业大学材料科学与工程学院	120	749	14.0	21.0
3	冯丽萍	西北工业大学材料科学与工程学院	45	159	7.0	9.0
4	陈继权	西北工业大学材料科学与工程学院	3	17	3.0	3.0