大口径镀膜机均匀性的研究

• 作者: 方明 易葵 范正修 范瑞瑛 董磊 邵建达
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 均匀性 修正挡板
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 功能材料制备加工技术
• 页码范围: 3216-3220
• 页数: 5页
• 分类号: TH74
• 字数: 3200字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.z1.904

摘要

对于大口径镀膜机的均匀性特性进行了研究,得到了一组厚度分布曲线,并对曲线进行了分析;利用这些实验结果,运用新理论设计出了具有实用性的修正挡板,均匀性可稳定的达到3‰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	董磊	中国科学院上海光学精密机械研究所	48	339	11.0	16.0
3	方明	中国科学院上海光学精密机械研究所	23	170	8.0	12.0
4	易葵	中国科学院上海光学精密机械研究所	67	518	14.0	18.0
5	范瑞瑛	中国科学院上海光学精密机械研究所	15	377	9.0	15.0
6	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0