半导体陶瓷型薄膜气敏传感器的研究进展

• 作者: 余萍 杨志华 肖定全
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 气敏传感器 半导体金属氧化物 陶瓷
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 4-6,10
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 4979字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.01.002

摘要

半导体陶瓷型薄膜气敏传感器,具有灵敏度高、与气体反应快、制备成本较低等优点,已经成为近年传感器研究和开发的重点,是未来气敏传感器的发展方向之一.本文介绍了陶瓷型半导体薄膜气敏传感器常见的器件结构、薄膜材料的主要制备方法,部分主要的半导体金属氧化物薄膜气敏材料,以及近期相关的研究进展,并扼要分析了今后的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖定全	四川大学材料科学系	178	2267	24.0	42.0
2	杨志华	四川大学材料科学系	14	139	6.0	11.0
3	余萍	四川大学材料科学系	82	1291	16.0	34.0