磁控反应溅射不锈钢表面制备纳米TiO2薄膜及光催化活性研究

• 作者: 季淑莉 张宗权 张建民 杨宗立 袁胜利
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 不锈钢 纳米TiO2薄膜 苯酚
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 166-168
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3198字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.02.011

摘要

不锈钢箔片上溅射沉积25nm的钛底膜后,在工作真空0.9Pa,O2、Ar分压比1∶6,基体温度270～280℃的条件下,用直流磁控反应溅射法制备了厚度约300nm的TiO2薄膜, 并在420℃的氧气氛下进行热处理.XRD分析看出,薄膜为TiO2锐钛矿和金红石复合晶型.测算表明TiO2复合晶中锐钛矿质量含量约64%,其晶粒尺寸约14nm.用"弯曲法"测试表明,膜基结合力强.由对苯酚溶液的降解实验看出,制备光催化薄膜具有较好的光催化活性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建民	陕西师范大学物理学与信息技术学院	91	480	12.0	19.0
2	袁胜利	陕西师范大学物理学与信息技术学院	14	131	6.0	11.0
3	杨宗立	陕西师范大学物理学与信息技术学院	14	92	6.0	9.0
4	张宗权	陕西师范大学物理学与信息技术学院	27	160	8.0	12.0
5	季淑莉	陕西师范大学物理学与信息技术学院	4	42	2.0	4.0