MFS结构钛酸铋薄膜的C-V特性研究

• 作者: 于军 王宝义 王耘波 王雨田 郭冬云 魏龙
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: MFS结构 钛酸铋薄膜 C-V特性
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 180-182
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 2618字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.02.016

摘要

利用sol-gel方法在p-Si(111)基底上制备钛酸铋薄膜.测量不同退火温度下得到的In/BTO/p-Si结构的C-V曲线,测量结果表明制备的MFS结构钛酸铋薄膜在合适的制备工艺下可望实现极化型存储.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于军	华中科技大学电子科学与技术系	103	537	11.0	16.0
2	王宝义	中国科学院高能物理研究所核分析室	69	258	9.0	12.0
3	魏龙	中国科学院高能物理研究所核分析室	50	325	10.0	16.0
4	王耘波	华中科技大学电子科学与技术系	68	398	10.0	16.0
5	郭冬云	华中科技大学电子科学与技术系	13	163	6.0	12.0
6	王雨田	中国科学院高能物理研究所核分析室	5	90	4.0	5.0