液相电沉积类金刚石薄膜的组成及结构分析

• 作者: 刘维民 张治军 徐洮 江河清 黄丽娜
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 液相电沉积 a-C∶H薄膜 Raman光谱 XPS 高斯分解
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 560-562
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 1311字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.05.009

摘要

利用液相电沉积的方法,从乙腈中在硅片上沉积非晶碳薄膜,首次发现了电流密度随反应时间呈波动变化的规律.红外光谱和拉曼光谱分析表明所得薄膜是一种典型的含氢类金刚石薄膜(a-C∶H薄膜),并用高斯分解的方法对非晶碳薄膜的拉曼光谱和X射线光电子能谱进行定量分析,从而确定这种a-C∶H薄膜中sp3的相对含量为30%～35%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张治军	河南大学特种功能材料重点实验室	315	5372	34.0	55.0
2	刘维民	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	307	5597	38.0	57.0
3	徐洮	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	75	815	16.0	23.0
4	黄丽娜	河南大学特种功能材料重点实验室	2	15	2.0	2.0
5	江河清	河南大学特种功能材料重点实验室	4	28	4.0	4.0