3英寸YBCO/CeO2/Al2O3双面超导外延薄膜的制备研究

• 作者: 刘兴钊 张鹰 李言荣 熊杰 谢廷明 陈家俊 陶伯万
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: YBCO薄膜 CeO2缓冲层 调速双轴旋转 微波器件
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 电功能材料及其应用
• 页码范围: 907-910,916
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1|TM26+2
• 字数: 2255字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.z1.254

摘要

采用自制的大面积四靶溅射设备,并结合基片的调速双轴旋转,成功研制出3英寸双面CeO2薄膜及YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜.通过对所制备薄膜的微观结构、表面形貌以及电性能的分析测试,得到的CeO2薄膜与YBCO薄膜具有良好的c轴外延取向,CeO2薄膜的(002)峰与YBCO薄膜的(005)峰FWHM均小于1°.薄膜厚度均匀性良好,厚度起伏在±5%以内.YBCO薄膜Tc分布在88.5～90K,△TC＜1K,Jc＞1×106A/cm2,Rs(10GHz,77K)两面分别为0.53mΩ和0.56mΩ,能较好地满足微波器件研制中的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹰	电子科技大学微电子与固体电子学院	47	169	7.0	9.0
2	李言荣	电子科技大学微电子与固体电子学院	115	824	15.0	21.0
3	刘兴钊	电子科技大学微电子与固体电子学院	56	310	9.0	14.0
4	熊杰	电子科技大学微电子与固体电子学院	41	205	6.0	12.0
5	陶伯万	电子科技大学微电子与固体电子学院	39	165	5.0	10.0
6	陈家俊	电子科技大学微电子与固体电子学院	7	30	4.0	5.0
7	谢廷明	电子科技大学微电子与固体电子学院	4	15	2.0	3.0