改进的溶胶-凝胶法制备不同厚度的PZT薄膜

• 作者: 佟建华 刘梦伟 崔天宏 王兢 王立鼎 董维杰
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 PZT薄膜 厚度 介电性能
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 功能材料制备加工技术
• 页码范围: 3224-3227
• 页数: 4页
• 分类号: TM223
• 字数: 2310字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.z1.906

摘要

采用改进的溶胶-凝胶技术,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底上制备了不同厚度的Pb(Zr0.50Ti0.50)O3薄膜,在600℃的退火条件下获得了晶格完善的钙钛矿结构.通过前驱体溶液的差热(DTA)、热重(TGA)实验以及PZT膜加热到不同温度的物相转化分析了PZT薄膜的相结构演化过程.采用X射线衍射仪和扫描电子显微镜表征了PZT薄膜的物相和微观形貌,用HP4194A阻抗分析仪测量了薄膜的介电性能.实验结果表明,随着退火循环次数的增多,PZT(111)相含量增加;薄膜的晶粒大小不随薄膜厚度改变;薄膜晶粒呈柱状生长;薄膜的介电常数随测量频率的增加而降低,随薄膜厚度增加而增加.