基于分层Petri网的半导体生产线建模

• 作者: 严隽薇 乔非 黄丹
• 来源期刊: 计算机工程与应用
• 学科: 工学
• 关键词: Petri 网 半导体制造 建模
• 年，卷（期）: 2004,（35）
• 所属期刊栏目: 工程与应用
• 页码范围: 192-195
• 页数: 4页
• 分类号: TP301
• 字数: 3737字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-8331.2004.35.062

摘要

论文提出了一种分层Petri网模型用于半导体生产线建模.首先,总结了Petri网在半导体生产线建模中的应用,继而给出了分层Petri网的定义及其建模过程.最后以一个典型的半导体生产线为例,进行该方法的应用研究.