母盘刻录技术新进展

• 作者: 徐端颐 范晓东 蒋培军 钱坤 齐国生
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 母盘刻录 电子束 近场 超分辨技术 直接母盘刻录系统
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 光存储技术
• 页码范围: 822-826
• 页数: 5页
• 分类号: TP333.4
• 字数: 5568字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2005.06.039

摘要

介绍了母盘刻录中的关键技术和当前母盘刻录技术的各个研究领域及其最新进展.指出了这些技术在下一代母盘刻录中的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐端颐	清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心	63	595	13.0	21.0
2	齐国生	清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心	29	273	10.0	15.0
3	钱坤	清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心	6	25	2.0	5.0
4	蒋培军	清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心	5	110	4.0	5.0
5	范晓东	清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心	3	23	2.0	3.0