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Ti-Si-N复合膜的界面相研究
Ti-Si-N复合膜的界面相研究
作者:
孔明
李戈扬
胡晓萍
董云杉
顾明元
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
Ti-Si-N复合膜
界面相
微结构
超硬效应
摘要:
为了揭示Ti-Si-N复合膜中Si3N4界面相的存在方式及其对薄膜力学性能的影响,采用x射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、俄歇电子能谱仪和显微硬度仪对比研究了磁控溅射Ti-Si-N复合膜和TiN/Si3N4多层膜的微结构和力学性能.实验结果表明,Ti-Si-N复合膜均形成了Si3N4界面相包裹TiN纳米晶粒的微结构.其中低Si含量的Ti-Si-N复合膜中Si3N4界面相的厚度小于1nm,且以晶体态存在,薄膜呈现高硬度.而高Si含量的Ti-Si-N复合膜中的Si3N4界面相以非晶态存在,薄膜的硬度也相应降低.显然,Ti-Si-N复合膜中Si3N4界面相以晶体态形式存在是薄膜获得高硬度的重要微结构特征,其强化机制可能与多层膜的超硬效应是相同的.
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内容分析
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关键词热度
相关文献总数
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文献信息
篇名
Ti-Si-N复合膜的界面相研究
来源期刊
物理学报
学科
物理学
关键词
Ti-Si-N复合膜
界面相
微结构
超硬效应
年,卷(期)
2005,(8)
所属期刊栏目
凝聚物质:结构、热学和力学性质
研究方向
页码范围
3774-3779
页数
6页
分类号
O4
字数
4351字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1000-3290.2005.08.054
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
顾明元
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
82
1649
22.0
37.0
2
董云杉
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
16
108
6.0
9.0
3
孔明
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
19
194
8.0
13.0
4
李戈扬
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
109
1036
18.0
25.0
5
胡晓萍
上海大学材料科学与工程学院
1
12
1.0
1.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(0)
节点文献
引证文献
(12)
同被引文献
(8)
二级引证文献
(25)
2005(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2006(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2008(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2009(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2010(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2011(2)
引证文献(1)
二级引证文献(1)
2012(7)
引证文献(2)
二级引证文献(5)
2013(9)
引证文献(2)
二级引证文献(7)
2014(7)
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2015(1)
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2018(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
2020(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
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节点文献
Ti-Si-N复合膜
界面相
微结构
超硬效应
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
主办单位:
中国物理学会
中国科学院物理研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
1000-3290
CN:
11-1958/O4
开本:
大16开
出版地:
北京603信箱
邮发代号:
2-425
创刊时间:
1933
语种:
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
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