石油勘探MEMS传感器的研究

• 作者: 孙正鼐 牛德芳 颜永安
• 来源期刊: 物探装备
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS传感器 差动电容 介质材料
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TE9
• 字数: 3302字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-0657.2005.01.002

摘要

用于信号采集的传感器在石油勘探中是一个很重要的设备.本文主要介绍了一种新的石油勘探MEMS传感器的结构特点、介质材料以封装方式,并详细地介绍了该产品的主要技术指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	颜永安		1	21	1.0	1.0
2	牛德芳		1	21	1.0	1.0
3	孙正鼐		1	21	1.0	1.0