绝压传感器温漂补偿及性能仿真

• 作者: 蓝加平 陈首部
• 来源期刊: 中南民族大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 绝压传感器 温漂 线性校正 零点校正
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 电子与信息科学
• 页码范围: 50-52,56
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2820字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4321.2005.02.014

摘要

分析了扩散硅绝对压力传感器的静态特性,提出了线性校正和零点校正方案,并利用Matlab软件对其性能进行了仿真,结果表明:解决了该类绝对压力传感器温漂的补偿问题,用廉价的压力敏感元件实现了对真空压力分辨到1Pa的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈首部	中南民族大学电子信息工程学院	30	137	7.0	10.0
2	蓝加平	中南民族大学电子信息工程学院	13	34	3.0	4.0