机械偶合

• 来源期刊: 机械工程通用零部件：英文版
• 学科: 工学
• 关键词: 机械偶合 简单硅晶体 对称结构 铝氮薄膜 激光腐蚀
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 2-4
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.3

摘要

A SINGLE-CRYSTAL SILICON SYMMETRICAL AND DECOUPLED GYROSCOPE ON INSULATING SUBSTRATE；ALMINIUM NITRIDE BASED THIN FILM BULK ACOUSTIC RESONATOR USING GERMANIUM SACRIFICIAL LAYER ETCHING； Alteration of Poisson's ratio in high coupling piezoelectrics；Capacitance coupling micromechanical filter；Coupled, macro-micro modeling for hot deformation and sintering……