LC19离子注入机控制方法及主控制器原理分析

• 作者: 伍三忠 孙勇 邱小莎
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 大角度离子注入机 控制器 异常处理 软件流程
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 离子束技术
• 页码范围: 12-16
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 2416字
• 语种: 中文

摘要

为了使离子注入机满足生产线工艺的要求,控制系统的设计必须使控制功能完善、控制命令响应迅速、命令执行准确可靠、异常处理迅速有效和整机工作稳定可靠.LC19离子注入机控制系统采用主从集中式控制方法,较好地解决了控制功能复杂与控制系统反应迅速、高效、稳定、可靠之间的矛盾.其主控制器的设计采用双端口存储器传递主控制计算机的命令,实现对各子控制系统的控制,其原理简单,但很好地解决了主从式集中控制方法中信息高速传递的难题.计算机与主控制器间采用8位总线送数,主控制器与子控制器之间采用高速串口送数.主控制计算机可向双端口存储器的A,B两区交替发送命令.而且,主从控制器之间采用了巧妙的通讯监控方法,一旦发生通讯故障,子控制器就会清"0"复位,避免机器失控.介绍了主从式集中控制的硬件及其特点,分析了主控制器的设计原理,说明了其软件流程,简述了其调试结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱小莎	中国电子科技集团公司第四十八研究所	2	4	1.0	2.0
2	伍三忠	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	10	2.0	3.0
3	孙勇	中国电子科技集团公司第四十八研究所	12	15	2.0	3.0