超细粒度陶瓷结合剂金刚石砂轮及其应用技术

• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石砂轮 陶瓷结合剂 磨具 平面度 研磨 抛光 表面 超细 制造 开发
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 5-7
• 页数: 3页
• 分类号: TG743

摘要

电子、半导体、通讯等相关领域所使用的硅片和玻质印刷电路板等部件，目前需经研磨和抛光来制造的，而且，伴随更高集成化的到来，要求部件有更高的平面度和表面品位。即：上述领域所用部件的粗糙度正在从以往的μm级向nm级或A级变移。从这样的背景出发，对使用的磨具也从以往的微细粒度砂轮向超细粒度砂轮变移，要求适应于此的研磨工具开发。