硅微机械陀螺仪结构中的电容分析

• 作者: 施芹 杨波 王寿荣
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 硅微机械陀螺仪 信噪比 杂散电容 电容模型
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 9-12
• 页数: 4页
• 分类号: V241.5+54|O472
• 字数: 3094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2005.11.003

摘要

为减小杂散电容提高信噪比,分析了硅微机械陀螺仪结构中的电容.并以某硅微机械陀螺仪的理论模型为对象,建立了陀螺仪结构中的电容模型.对每种电容进行了理论分析,并借助电路仿真软件对模型进行了仿真,分析了杂散电容对输出的影响,结果表明布线与活动结构间的电容对输出有很大的影响.提出了采用新工艺和合理的布线方法减小与活动结构间的电容,从而提高信噪比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王寿荣	东南大学仪器科学与工程系	94	1158	19.0	28.0
2	杨波	东南大学仪器科学与工程系	74	553	13.0	19.0
3	施芹	东南大学仪器科学与工程系	5	19	4.0	4.0